有机废气经等离子激发、离解活化，然后活化的废气经高能射线照射在稀有金属氧化物表面，与废气中的氧气发生催化氧化反应，最终转化为CO2和H2O等物质，从而达到净化废气的目的。等离子与催化氧化技术的结合解决了单一用等离子时能量利用率、处理效率低及应用条件高的缺陷。

       高效：废气去除效率高，可达90%以上

       安全：常温下反应，不添加任何有毒物质

       无二次污染：净化及运行过程不产生废水、废渣等